INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中，測(cè)量范圍從
5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）。 多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
選擇BPG400真空計(jì)，價(jià)格經(jīng)濟(jì)，且可重復(fù)測(cè)量基準(zhǔn)壓力。

• 測(cè)量范圍非常廣，從 5×10^-10 毫巴至大氣壓（3.8×10^-10 托至大氣壓）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
• 使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
• 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
• RoHS 合規(guī)
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

• 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

零件號(hào)

BPG400
零件號(hào)	明細(xì)
353-500	BPG400 規(guī)管
353-500-11	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0	BPG400規(guī)管
353-502-A	BPG400規(guī)管
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display
353-501	BPG400 規(guī)管
353-502	BPG400 規(guī)管
353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505	復(fù)合真空規(guī)
353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R